СЕМ та ЕДРС

Скануючий електронний мікроскоп Tescan Vega 3 LMU виробництва чеської фірми Tescan Brno s.r.o. Tescan Vega 3 LMU – це повністю керований з комп’ютера скануючий електронний мікроскоп з класичним вольфрамовим термокатодом і збільшеною камерою типорозміру LM (максимальна висота зразка з обертанням столика 54 мм). Мікроскоп оснащений стандартним SE детектором вторинних електронів (SE – secondary electrons), що дозволяє отримувати зображення з топографічним контрастом та детектором зворотно розсіяних електронів BSE (BSE – backscattered electrons), призначений для отримання зображення з інформацією про варіації складу на основі контрасту за середнім атомним номером.

Основні характеристики:

  • роздільна здатність в режимі високого вакууму (SE) – 3 нм при 30 кВ, 8 нм при  3 кВ, в режимі низького вакууму (BSE) –3,5 нм при 30 кВ;
  • розмір зони аналізу 24 мм при WD = 30 мм;
  • збільшення зображення від 2 до 1000000 разів;
  • захоплення зображення і його виведення з високою роздільною здатністю
    (16000×16000 пікселів);
  • можливість дослідження непровідників.