Скануючий електронний мікроскоп Tescan Vega 3 LMU виробництва чеської фірми Tescan Brno s.r.o. Tescan Vega 3 LMU – це повністю керований з комп’ютера скануючий електронний мікроскоп з класичним вольфрамовим термокатодом і збільшеною камерою типорозміру LM (максимальна висота зразка з обертанням столика 54 мм). Мікроскоп оснащений стандартним SE детектором вторинних електронів (SE – secondary electrons), що дозволяє отримувати зображення з топографічним контрастом та детектором зворотно розсіяних електронів BSE (BSE – backscattered electrons), призначений для отримання зображення з інформацією про варіації складу на основі контрасту за середнім атомним номером.
Основні характеристики:
- роздільна здатність в режимі високого вакууму (SE) – 3 нм при 30 кВ, 8 нм при 3 кВ, в режимі низького вакууму (BSE) –3,5 нм при 30 кВ;
- розмір зони аналізу 24 мм при WD = 30 мм;
- збільшення зображення від 2 до 1000000 разів;
- захоплення зображення і його виведення з високою роздільною здатністю
(16000×16000 пікселів); - можливість дослідження непровідників.
